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天津?qū)嶒炇腋呒儦饴凡季?/p>

  • 更新時間:  2025-03-06
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  • 簡單描述
  • 高純氣體管道系統(tǒng)的布置不同于普通氣體管道。一般來說,要求管道不要太長,不要有死角,如不容易吹干凈的“盲管"。主管或支管的末端應(yīng)提供必要的排放口和取樣口。在一些非連續(xù)使用的用戶中,讓少量氣體在管道末端連續(xù)排出,從而管道中的氣體將正常流動,避免出現(xiàn)“死區(qū)"。根據(jù)工藝氣體的質(zhì)量要求,必要時應(yīng)設(shè)置終端凈化裝置。一般來說,控制閥、過濾器、減壓裝置、壓力表、流量計、在線分析儀器等。
詳細介紹

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  高純氣體管道系統(tǒng)的布置不同于普通氣體管道。一般來說,要求管道不要太長,不要有死角,如不容易吹干凈的“盲管"。主管或支管的末端應(yīng)提供必要的排放口和取樣口。在一些非連續(xù)使用的用戶中,讓少量氣體在管道末端連續(xù)排出,從而管道中的氣體將正常流動,避免出現(xiàn)“死區(qū)"。根據(jù)工藝氣體的質(zhì)量要求,必要時應(yīng)設(shè)置終端凈化裝置。一般來說,控制閥、過濾器、減壓裝置、壓力表、流量計、在線分析儀器等。進入潔凈車間的高純度氣體管道集中在氣體人口室,便于統(tǒng)一管理和控制。

  高純氣路管道及管道附屬材料:高純氣體管道輸送管道應(yīng)根據(jù)工藝對氣體純度、允許雜質(zhì)含量、顆粒含量等的不同要求,采用相應(yīng)質(zhì)量的管道。例如,半導(dǎo)體工業(yè)不僅需要清潔的生產(chǎn)環(huán)境,而且由于其復(fù)雜的生產(chǎn)過程和精細加工,對生產(chǎn)過程中所需的各種高純度氣體也有具體和嚴格的要求。從微米技術(shù)到亞微米和深亞微米(小于0.35um)技術(shù),對氣體中雜質(zhì)含量和水分含量的要求非常嚴格,10-6 (ppm級)不能滿足要求。需要達到10-9 (ppb級)甚至10-12(ppt級),粉塵粒徑需要控制在0.05-0.01 μm。因此,輸送管道的管道材料特性必須滿足高純度和超高純度氣體的要求。

  管道材料的特性對于輸送高純氣體的管道,影響氣體質(zhì)量的管道材料的主要特性是透氣性、出氣率、吸附性、表面粗糙度、耐磨性和耐腐蝕性。

  供氣系統(tǒng)管道安裝要求

  、管道敷設(shè)應(yīng)符合設(shè)計要求,設(shè)計沒有要求時,干氣管道應(yīng)水平安裝;輸送濕氣的管道應(yīng)安裝坡度不小于0.003,坡度應(yīng)朝向冷凝水收集器。

  管道采用焊接連接,鎢極氬弧焊打底,手工電弧焊覆蓋。不銹鋼管焊接或點焊應(yīng)采取充氬保護措施

  氣體管道和設(shè)備、閥門和其他附件應(yīng)通過法蘭或螺紋連接。螺紋接頭的填料必須是聚四氟乙烯薄膜

  、氣體管道穿過潔凈室時,法蘭墊片或螺紋填料的外露部分,必須清理干凈

  氣體管道采用噴砂除銹或酸洗鈍化無縫鋼管時,必須采用集中安裝方式,安裝應(yīng)在48小時內(nèi)分段組合,氮氣保護,填充壓力不小于0.2兆帕

  對于有接地要求的燃氣管道,法蘭之間必須焊接導(dǎo)電跳線。導(dǎo)體截面和焊接搭接長度應(yīng)符合設(shè)計要求。焊點必須牢固可靠。

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